06 июля 2022 года в ФГБУ ФТИ им. А.Ф. Иоффе состоялось рабочее совещание по вопросам реализации аванпректа по созданию экстремального ультрафиолетового фотолитографа (ЭУФ) с рабочим разрешением 10-20 нм для создания опытно-промышленного производства наночипов.
В совещании приняли участие директор ФГБУ ФТИ им. А.Ф. Иоффе Иванов Сергей Викторович, заместитель директора по научной работе Брунков Павел Николаевич, генеральный директор АО «НПО ГОИ им. С.И. Вавилова» Дукельский Константин Владимирович, начальник отдела лазерной физики Белоусова Инна Михайловна, ведущий научный сотрудник Желваков Александр Павлович.
В процессе совещания обсуждались научные и технические составляющие аванпроекта, а также было принято решение о создании рабочей группы из числа сотрудников АО «НПО ГОИ им. С.И. Вавилова» и ФГБУ ФТИ им. А.Ф. Иоффе для реализации аванпроекта в сроки, установленные Холдингом «Швабе».
