19 мая 2022 года состоялось рабочее совещание с представителями Союза промышленников и предпринимателей Санкт-Петербурга, ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН и Санкт-Петербургской Ассоциации предприятий радиоэлектроники.
Со стороны, перечисленных выше организаций в совещании приняли участие генеральный директор исполнительной дирекции Союза промышленников и предпринимателей Михаил Александрович Лобин, генеральный директор Санкт-Петербургской Ассоциации предприятий радиоэлектроники Михаил Михайлович Скачков и ведущий научный сотрудник ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН Максим Эммануилович Сасин.
От АО «НПО ГОИ им. С.И. Вавилова в совещании участвовали генеральный директор Константин Владимирович Дукельский, заместитель генерального директора по научной работе и развитию Антон Владимирович Бурдин, а также руководители профильных научных подразделений.
В ходе совещания обсуждались потенциальные возможности создания отечественного оборудования и технологии опытно-промышленного производства наночипов 10-20 нм. Разрабатываемая система представляет собой ЭУФ (экстремальный ультрафиолетовый) фотолитограф с рабочим разрешением 10-20 нм. Поле изображения – 0,82х0,82 мм2 на кремниевой пластине диаметром до 150 мм.
Была отмечена несомненная перспективность и актуальность проекта для радиоэлектронной промышленности РФ. Состоялся конструктивный обмен мнениями относительно актуальности предлагаемых вариантов конечного результата реализации проекта: опытно-промышленное производство мелкой серии наночипов заданной конфигурации, опытно-промышленная установка ЭУФ нанолитографа. Получены полезные рекомендации более тщательной проработки рынка подобных установок и производимой на них продукции, а также существенного уменьшения сроков реализации проекта за счет распараллеливания его этапов выполнения.
По итогам рабочей встречи принято решение о проведении соответствующей доработки презентационных материалов проекта и последующей организации расширенного НТС на площадке АО «НПО ГОИ им. С.И. Вавилова» с приглашением профильных научно-технических специалистов области фотолитографии и представителей руководства организаций – потенциальных потребителей как самой установки, так и производимой на ней продукции.
