Заготовки из особо чистого синтетического кварцевого стекла марки СКС-150 ТУ 23.19.26-091-07505944-2025 предназначены для изготовления оптических элементов, работающих при прохождении света в одном направлении, либо используются в качестве самостоятельных элементов проходной оптики. Выпускаются в виде пластин круглого или прямоугольного сечения для широкого круга задач лазерной техники и оптико-электронного приборостроения, включая литографические системы (λ = 193, 248 нм). По своим характеристикам кварцевое стекло марки СКС-150 близко к кварцевому стеклу марки КУ-1 ГОСТ 15130-86.
Характеристика | Значение |
---|---|
Форма | Диск или прямоугольная пластина |
Диаметр или диагональ | 50-150 мм |
Толщина | 10-20 % диаметра |
Пузыри | отсутствуют |
Включения различной природы | отсутствуют |
Оптическая однородность | 5×10-6 (контроль при 90 % диаметре или диагонали в направлении толщины) |
Двулучепреломление | не более 1 нм/см |
Локальные неоднородности (свили, наплывы) | Отсутствуют при контроле теневым методом (Class 5 по ISO 10110-4) в направлении толщины |
Мелкозернистая неоднородность | отсутствует |
Минимальное пропускание массы стекла для λ = 193 нм | 90 % при толщине 1 мм |
Минимальное пропускание массы стекла для λ = 248 нм | 93 % при толщине 1 мм |
Общая концентрация примесей за исключением OH групп | Не более 500 ppb |
Качество поверхности | Регламентируется ТУ 23.19.26-091-07505944-2025, при необходимости дополнительно оговаривается при заказе |